盟立在LTPS制程中,参与Stocker与外围设备的实绩甚多,其中以OHCV(Over Head conveyor)在连结Stocker与其他制程设备间扮演重要的角色,OHCV除了在Stocker之间传递卡匣(Cassette)外,也可以连外与TRU(Transfer & Turn)等叉取设备的运用,其特点在LD/ULD站点间的卡匣传递,其运用方式可以设计成直线式,L型式或多转折路径的规划。在电力传输的设计,利用电磁感应原理将电力经由无接触式的HID输电导轨传送到OHCV上,电力传送为无接触传输,也直接降低了发尘问题。
盟立在LTPS制程中,参与Stocker与外围设备的实绩甚多,其中以OHCV(Over Head conveyor)在连结Stocker与其他制程设备间扮演重要的角色,OHCV除了在Stocker之间传递卡匣(Cassette)外,也可以连外与TRU(Transfer & Turn)等叉取设备的运用,其特点在LD/ULD站点间的卡匣传递,其运用方式可以设计成直线式,L型式或多转折路径的规划。在电力传输的设计,利用电磁感应原理将电力经由无接触式的HID输电导轨传送到OHCV上,电力传送为无接触传输,也直接降低了发尘问题。