FOUP Stocker 晶圆传送运输系统

 
近年来盟立自动化公司积极投入半导体产业,整厂自动化系统,在业界已有多家客户使用,创造优良正面评价与实绩,其性能、可靠性、与安全性已于多个「半导体产业超高密度自动仓储案」取得 SEMI S2 半导体设备安全认证。半导体厂房产线多数空间有限,为解决储存空间不足问题,有效活化设备周围可用空间。

半导体厂房产线多数空间有限,为解决储存空间不足问题,有效活化设备周围可用空间,盟立开发出高密度自动仓储,充分利用空间可存放大量产品;实际应用案例:使用空间长度30公尺、宽度1.5公尺、高度5公尺,货架可储存约7000个Tray盘。高密度自动存取机,可对具晶圆盒系列FOUP / FOSB 、封装测试系列Tray承载盘、玻璃基板卡匣等做搬运,能透过OHT、AGV、人工操作等设备进行上下料、暂存及晶圆传送运输。


要达到高密度的仓储空间,设备整体高度加高,高速移动时相对晃动惯性量就会加大,为因应此问题盟立以自行研发STOCKER振动抑制控制抑制功能,降低振动对产品的损害。

功能特色:高密度储存空间、节省厂房占地面积
盟立集團開發的FOUP STOCKER儲存裝置,以潔淨室搬送系統進行產品入出庫管理,可令廠房倉儲空間更充分的應用,輔以自動化系統控管入出庫,更能減賞人員勿操作的發生率,進一步實現自動化的願景。
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