OHT 空中走行式搬送系统

盟立自制的高空走行式无人搬运车(OHT)为高架搬送系统,主要搬运Foup至各制程设备间的Load/Unload Port,OHT夹取Foup于高空轨道输送系统上行进,除可有效节省及利用空间外,另对比传统人工搬送作业流程,更能大幅提高搬送效率,节省搬送时间。在不占用人员走道的前提下以及厂房高度约2.7米左右即可导入,将无尘室内的空间使用率最大化。藉由高空走行式无人搬运车可以直接存取Stocker load port上的货物,不受运行路线上的机台/人员等障碍物干涉。
 
OHT属于悬吊式空中搬运系统,配合客户需求将晶圆盒(FOUP)在不同的制程区间或是跨厂区栋别进行串连搬送。由于不须透过Stocker作为中转站,全厂性的OHT运用可实现EQ to EQ的直接搬送,大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time)。

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