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2017.06.06

洁净无尘室STOCKER-双牙叉(Twin Fork)技术

低温多晶硅(LTPS)是新一代薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的制程,随着国际手机大厂大量运用在智能型手机制程,持续在挑战制程良率,并且不断的突破技术瓶颈下,已有长足的进步,随之而来的设备需求也逐年上升,为迎合LTPS市场快速成长的需求,盟立提供高客制化,弹性的搬运储存设备,并开发BEOL制程切割后成品运送的双牙叉(Twin Fork)机械手臂,并搭载于STOCKER储存设备。

双牙叉手臂之特点可在同储位取放两座卡匣,且可依制程需求先后取放卡匣,节省两个卡匣个别搬运的时间,大幅提升稼动率,在产品储量需求大的场合,也可运用在Dual Crane Stocker,单线Stocker系统并用4组牙叉(SCARA FORK),对于产品运用及周转,提供相当灵活的技术。

如何提升并改善生产LTPS面板产品的良率,是现阶段的竞争重点,其中,如何提供高洁净度的生产、搬送及储存环境,扮演着影响良率高低的关键角色。

由于LTPS要求的生产技术相较于一般制程,对无尘要求更为严苛,面板制程也较为复杂;盟立已完成了Class10 @0.1um动态Particle测试验证,目前在台湾及大陆均已有多座实绩,随着高分辨率智能型手机的盛行,以及智能型手机屏幕平均尺寸的持续增长,LTPS面板需求将持续走高,盟立本着搬运设备朝向高智能,灵活弹性的客制需求,为面板制程良率提升贡献一己之力。
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