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EFEM 晶圆传送设备
EFEM(Equipment Front End Module)为半导体 Loader/Unloader ，可为不同晶圆尺寸提供设备前端上/下料之自动化模块。盟立EFEM可以完全满足客户制程机台需求与限制，开发出适用于任何半导体制程设备之自动化需求。
从前端机器人之选用, EFEM与主机台物流方式, SECS/GEM与上位系统的沟通与BC(Block Control)整合，盟立拥有经验极丰富的工程人员，可大幅降低客户导入EFEM风险及导入时间。
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