CIM-PC 制程设备生产自动化

CIM PC Control System(CPC)为管理单一台或联机(Cluster)的制程设备,为客户特定的生产作业与需求,依制程设备的特性,建立自动化的控制系统,并俱信息交换接口与上位系统(MES)进行生产信息的交换作业,使生产作业得以自动化, 也称EAP。

基本的系统架构与组成,包含有制程模块、物料搬运模块、载具模块及CPC等单元。其架构及功能特性与BC大多相同,而最大的差别为控制的制程设备模块数量较少及可提供较多样的客制化功能。

系统面
  • 系统符合SEMI E30、E32、E38的规范要求。
  • 上位系统接口:可与任何MES介接,接口支持IBM MQ、Tibco RV、HSMS…等多种通讯接口,进行上下游数据的交换整合。
  • 可连接多种数据库如Oracle、DB2、SQL Server等。

功能面
  • 将上位系统的生产信息下达给制程设备,使其依命令进行生产作业。
  • 生产Recipe 的管理,如对Recipe Body检查,与变更回报数据…等。
  • 生产作业的信息与条件实时搜集并回报上位系统。
  • 设备端的接口讯号变化记录,具备系统历史状态回溯查询功能,以了解某一时间点内作发生的问题及相关的原因判断,藉以改善人员作业模式及处理流程的改善依据。
  • WIP的数据管理与回报
  • 载具数据的管理、维护与记录。
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