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2018.02.12

超大世代非接触式搬送机构组件之概况

在面板制程当中,传统的滚轮搬送机构或多或少都会在玻璃表面留下轮痕或小刮伤,造成产品的瑕疵或报废。当玻璃愈来愈薄,分辨率愈来愈高,广视角液晶成为主流,数组技术由非晶硅走向低温多晶硅之后,对于面板生产过程中的轮痕要求也愈来愈严苛,甚至在部分制程之中不能容许其存在,故而使得输送过程中不会接触到玻璃表面的气浮搬送技术成为一个极佳的解决方案。现有的气浮机构组件乃是利用较大的空气流量,在气浮板与玻璃间形成抵抗重量的矩阵式支撑浮力,期间并布上白努利吸盘以吸住玻璃防止玻璃飘移。然而传统的气浮方案,使用大量的气流,除了会引起扬尘影响玻璃洁净度之外,其电力消耗亦颇为可观,这将在下一世代的非接触技术或可成为一个有趣的研究话题。

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2018.02.08

盟立可编程伺服控制器SDPLC+为半导体设备Stocker提供最佳的解决方案

企业因应工业4.0的风潮,自动化已成为各家工厂积极发展的方向。许多大厂以无人工厂、关灯生产为其目标,纷纷寻求自动化设备商提供解决方案。盟立身为自动化指针,旗下产品”SDPLC+”控制器就是解决问题之关键。「可编程伺服控制器」SDPLC+其特点在于集可程控器(PLC) 、驱动器、轴控卡于一体的高科技产品,目前正着手应用于半导体常见的储料设备(Stocker)。

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2018.01.25

晶圆自动取片机

晶圆自动取片机,以厂内晶圆盒为载具,适用于8吋/12吋晶圆的自动取片,节省旧式半导体检测机台人工取放片之时间耗损,半导体机器手臂取放晶圆的过程,减少人员取放的不可控因素,并透过控制系统串联,可透过操作计算机轻易作业设定,透过SECS/GEM 通讯协议可自行上传晶圆过片数据,整体而言,有效提升旧式单机自动化程度、减少人员取放异常、人员定点等待的时间、提高晶圆对位准确度。

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晶圆自动取片机
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2018.01.25

洁净无尘室G10.5世代STOCKER

Clean Stocker为AMHS的重要组成之一,在面板厂内负责玻璃基板原料、在制品或成品的储存与管理,In-line Stocker建置在制程区上,由Crane负责执行Intra-Bay的搬运工作,取代AGV(或RGV)搬运系统的使用,能节省AMHS占用空间、降低AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间。

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